伺服減速機是指其齒輪傳動裝置的重量，一般情況下伺服減速機的重量與齒輪成正比，而齒輪的重量與其材料和熱處理硬度的方式又有著很大關系。在功率相同的前提下，滲碳淬火齒輪的重量可能只有調(diào)質(zhì)齒輪重量的1/3左右。由此針對行星齒輪減速機的特點和齒輪的載荷性質(zhì)，伺服減速機廣泛采用硬齒面的齒輪。硬齒面齒輪的熱處理方法有很多種，譬如表面淬火，整體淬火、滲碳淬火、滲氮等，需要根據(jù)行星齒輪減速機的特點具體考慮選定。

  伺服減速機的特點突出，包括結構緊湊，回程短，精度高，耐用，額定輸出扭矩大等。不過價格稍貴。行星減速器一般用在有限的空間里需要較高的轉(zhuǎn)矩的情況下，即體積小轉(zhuǎn)矩大，而且它的可靠性和壽命都比正齒輪減速器好的多。正齒輪減速器耗電少，低噪音和高效率，可以實現(xiàn)低成本的應用。只要有符合行星減速機要求的地方都可以用到伺服減速機。